电子气体行业的主要技术壁垒包括:
(1)提纯技术难度大。电子气体纯度往往要求(5N-6N)级别,而金属离子要求10-9~10-12级。 气体纯化技术主要有吸附法、精馏法、膜分离法,其中精馏法应用为广泛。精馏法可分为连续精馏法和间歇精馏法,连续精馏法操作稳定,并且得到的气体产品纯度较高,质量好。吸附法分为变压吸附法和变温吸附法,与变压吸附法相比,变温吸附法能耗较高、吸附量小,再生需要加热介质,哪里有特种气体厂家,吸附剂寿命较短。膜分离法为一种新型的高分离、浓缩提纯及净化技术。
(2)气体输送,充装,供应特种气体厂家,和储运。超高纯电子气体的生产和使用需要高质量的钢瓶等储运容器,对气体输送管线、阀门和接口要求十分严格,以避免二次污染。随着气体纯度的提高、产品种类的增多,特种气体销售,对包装容器的要求也越来越高,南昌特种气体,
(3)分析检测与质量控制。超高纯电子气需要对ppm(10-6)至ppb(10-9)级别的杂质进行分析,金属离子更是要求检测线达到ppb(10-9)至ppt(10-12)。
1、特种气体 specialily gas
用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。
2、特种气体系统 speciality gas system
特种气体系统是指在用户现场的特种气体的储存、输送与分配全过程的设备、管道和部件的总称。
3、特种气体间 speciality gas room
是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备,并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。
LED产业的特种气体技术发展趋势市场
随着化合物半导体技术的日益成熟和产业化进程的加快,外延技术需要的超纯特种气体和有机源的研制和制造技术不断提升。主要表现在:气体和有机源的深度纯化技术;气瓶及管路内壁的洁净处理技术;ppm、ppb、ppt气体杂质检测技术;ppb、ppt级金属杂质的净化控制及分析检测技术;排放尾气的解1毒报警技术;一体化无污染供气系统的建立;特种气体混合气的配制技术;配套器件技术以及0.01~0.002μm颗粒的测试过滤技术等。为了适应日益发展的下游产业的发展需要,特种气体生产商在产品纯化、灌装、检测等环节取得更多的创新技术。
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